[인더스트리뉴스 정승훈 기자] 고정밀 모션 솔루션을 제공하는 글로벌 기업 피아이코리아가 ‘세미콘 코리아 2025’에 참가했다. 이번 전시회에서 피아이코리아는 에어베어링 XY 스테이지와 4축 피에조 모터를 결합한 ‘웨이퍼 검사 박막 계측 시스템’을 공개했다.

글로벌 기업 ‘피아이코리아(PI KOREA)가 ‘세미콘 코리아2025’에 참가했다. [사진=인더스트리 뉴스]

에어베어링 XY 스테이지와 4축 피에조 모터를 결합한 ‘웨이퍼 검사 박막 계측 시스템’ [사진=인더스트리뉴스]

웨이퍼 검사 박막 계측 시스템은 초정밀 포지셔닝을 통해 반도체 제조 공정에서 품질과 수율을 향상시키며 결함을 신속히 감지하고 생산 비용 절감에 기여한다.

또한 높은 공진 주파수를 기반으로 우수한 안정성과 동적 트래킹 성능을 제공하며 갠트리 제어 및 2D 매핑 등 고급 ACS 제어 기능을 갖췄다.

이외에도 △레이저 용접을 이용한 밀봉 시스템 △오토포커스 알고리즘을 활용한 산업 광학 검사 등을 선보이며, 미래 반도체 산업을 선도할 핵심 기술 트렌드를 조명했다.

[정승훈 기자 (dnjsanwls89@naver.com)]

[저작권자 © FA저널 SMART FACTORY, 무단 전재 및 재배포 금지]